SK海力士：***用GWP为0的F2气体替代三氟化氮

tamoadmin 新闻资讯 2024-07-25 0

【SK海力士推进环保举措，替换芯片生产清洁气体】

SK海力士近日宣布，已在部分芯片生产的清洁工艺中***用更环保的气体。公司测试并实施了以全球变暖潜值较低的气体替代三氟化氮(NF3)的方案。目前，SK海力士已将GWP为0的F2气体应用于某些工艺步骤中。

SK海力士：采用GWP为0的F2气体替代三氟化氮

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